廠務技術服務部Factory Technical Service Department

廠務系統工程

• 高純度特殊氣體系統（Specialty Gas System, SGS）
• 大宗氣體供應系統（Bulk Gas System, BGS）
• 毒性/腐蝕性氣體系統（Toxic/Corrosive Gas System）
• 燃性氣體系統（Flammable Gas System）
• 惰性氣體系統（Inert Gas System）
• 真空排氣系統（Vacuum Exhaust System）
• 中央控制與監控系統（Gas Monitoring & Control System）
• 氣體供應系統- 二次配(HOOK UP)

設備製造

• 氣體分配閥箱及閥盤製作(VMB,VMP)
• 氣體鋼瓶櫃設計與製造(Gas Cabinet)